☎ +7 (812) 329-41-74

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П

  • в наличии

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений (№18895-99), регистрация подтверждена на Украине, в Белоруссии и Казахстане.

Таблица характеристик:

Спектральный диапазон, см-1 400–7800
Спектральное разрешение, см-1 1
Диаметр светового пятна на образце, мм 6
Максимальный размер пластин, мм 200
Точность позиционирования стола, мм 0,5
Время стандартного измерения в одной точке, с 20
Размеры спектрометра, мм 670x650x250
Вес спектрометра, кг 37

* — Поставляется по дополнительному заказу.

Галерея

Основные преимущества:

- Высокая чувствительность. Спектрометр в 10–100 раз превосходит по чувствительности дифракционные приборы типа ИКС и SPEKORD, что позволяет регистрировать предельно низкие концентрации и малые количества веществ.
- Высокая производительность. Время получения спектра 2–20 с позволяет выполнять экспрессные измерения, перейти от выборочного контроля продукции к сплошному, контролировать параметры технологических процессов в реальном времени.
- Автоматизация измерений. Повышает надежность измерений, позволяет автоматизировать учет результатов и повысить эффективность их обработки.
- Простота эксплуатации. Интерферометр не требует настройки, имеется встроенный стандарт длины волны, процесс тестирования и поверки автоматизирован.
- Модульная конструкция. Спектрометр может быть легко адаптирован для решения специализированных задач, например: газовый анализ, анализ топлив и масел, контроль полупроводникового кремния.